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名称
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规格
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单温区真空管式炉CVD系统
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单温区真空管式炉
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炉管尺寸
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Φ60×1000mm 更多其他规格刚玉管可选（Φ50/60/80/100mm等）
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主要参数
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最高温度: 1400℃
工作温度: 1300℃
推荐升温速率:≤10℃/min
加热区长度: 300mm
额定功率：4KW
电压：单相AC 208 - 240V, 50Hz
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炉体结构
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双层空气冷却钢壳保持炉表面温度低于60°C
高纯状氧化铝纤维绝缘层，最大限度节约能源
炉膛和加热元件上的特殊耐火涂层可延长炉子的使用寿命
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温控系统
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模糊PID控制和自整定调节功能
智能化30段可编程控制
具有超温及断偶报警功能
控温精度: ±1 ℃
S型热电偶
可安装PC控制软件对数据进行实时采集（需另购）
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温控仪表（可选）
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标配仪表品牌为宇电，可指定其他品牌温控仪表，如岛电等。
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管堵
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多种规格管堵，防止来自内部管子的热辐射，管堵在加热前必须完全放入炉腔。
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密封系统
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炉管两端配有不锈钢密封法兰。（包括精密针阀、指针式真空压力表、软管接头）
如需获得较高的真空度，建议采用不锈钢波纹管连接及数显真空计（需另外订购）
备注：本公司标配法规格如下进气端Φ6卡套接口，可连接Φ6不锈管或者聚四氟管。
出气端预留KF25接口，方便连接真空泵，KF16接口，方便连接数显真空计，以及Φ9气嘴接头，以便出气
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扩展端口
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如进气管道为橡胶软管，则需将进气口更换成Φ9气嘴接头
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真空度
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双极旋片机械泵：10^-1Pa
分子泵机组：10^-3 Pa
可选配本公司配套高低真空
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二路质量流量控制系统
MFC-2Z
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电压
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220VAC 单相 50/60Hz
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针阀材质
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316不锈钢
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量程
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50sccm、100sccm（可根据工艺要求提供多种量程选择）
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工作温度
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5～45℃
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外型尺寸
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600(L) x 600(W) x 750(H) mm
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电压
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AC220V/50Hz单相
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功率
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23W
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真空系统
LVU-10
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壳体尺寸
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600 (L) x 600 (W) x 750(H)mm
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最大承载量
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1000 Lbs
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抽气速率
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10m³/h
极限真空度：10-1Pa
双层立式油污过滤器(PE材质）与真空泵连接
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质保期
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一年保修，终身技术支持。
特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
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相关应用
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炉膛内衬可以单独更换（额外付费）
可以根据要求设计成带有滑动法兰的炉子
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应用注意事项
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炉管内气压不可高于0.02MPa
由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态
进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
石英管的长时间使用温度＜1100℃
对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）
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京公网安备 11010702002294号
