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简介： LVU-110分子泵真空系统如图所示，采用分子泵作为主工作泵，机械泵作为分子泵前级真空泵，真空泵内部已配有隔断放气装置，主要由连接管道、分子泵、机械泵构成，通过标准配件连接，全部采用不锈钢材料，电抛光处理。该系统设计具有预抽功能，系统的面板有数显复合真空计，以便随时观察和控制本系统的工作状态。分子泵和机械泵之间配有电动压差阀，断电后，压差阀自动关闭，避免对分子泵产生影响。

主要配置	技术参数
机械泵	抽气速率：10m³/h 容油量：1.1L 电机功率：400W 极限压强：6×10^-2Pa
分子泵	抽气速率：100L/S 极限压强：6×10^-⁶Pa 额定转速（rpm)：4300；环境温度5-32℃时分冷，5-40℃时看水冷。电压：220V±22V
复合真空计	测量路数：2路（电阻规、电离规各1路）工作模式：手动/自动电阻单元参数规管型号：ZJ-52T电阻规测量范围：1.0×10⁵Pa~1.0×10^-1Pa 有效范围：2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa 控制范围：2.5×10³Pa~5.0×10^-1Pa 电离单元参数规管型号：ZJ-27电离规可测范围：5.0Pa~1.0×10^-5Pa 有效范围：1.0Pa~5.0×10^-5Pa 控制范围：1.0Pa~5.0×10^-5Pa 规管除气方式：焦耳去气其他参数控制精度：±1% 采样时间：1S 电源：220V±10% 50HZ 功耗：50W 使用环境温度：0℃~45℃ 湿度：≤85%
连接管路	采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率优于1.0×10^-9Pa.m³/s