电子半导体行业废气处理设备-环境保护设备-大气治理设备-产品-中冶有色技术网

简介： 电子半导体行业废气处理设备处理工艺:氮氧化物浓度较高的采用四级串联高浓度酸雾净化塔，添加氢氧化钠、硫化钠进行洗涤处理;氮氧化物浓度较低的采用两级串联酸雾净化塔，添加氢氧化钠进行洗涤处理。

电子半导体行业废气处理设备

处理工艺:氮氧化物浓度较高的采用四级串联高浓度酸雾净化塔，添加氢氧化钠、硫化钠进行洗涤处理;氮氧化物浓度较低的采用两级串联酸雾净化塔，添加氢氧化钠进行洗涤处理。

主要特点:净化效率高，结构紧凑，耐腐蚀，耐老化性能好,自动化控制，操作简单，广泛应用于太阳能、电子半导体等行业。

PECVD设备尾气主要包含硅烷SiH及氨气NH等。

处理工艺:不锈钢燃烧筒一不锈钢硅烷燃烧洗涤塔氨气洗涤塔+离心风机

主要特点:硅烷去除率高，氨气及其他水溶性气体净化率高，占地面积小，耐腐蚀，便于维修。

来源：江苏天兴环保股份有限公司