该PECVD(等离子化学气相沉积系统)系统，有多路质量流量计系统(进口流量计)，真空机组(进口真空泵)，PE射频电源(进口射频源)，温控系统等装置构成。使用PE源将气源等离子化，有利于降低工艺温度，同时扩大工艺的使用条件，满足更多的工艺实验要求，如石墨烯、碳纳米管等，控制操作系统集成于触摸屏操作面板上，便于操作与观察。

技术参数：

双温场滑轨炉

主要特点：

滑轨式快速升温炉是专为生长石墨烯研制的石墨烯生长专用炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验，这款设备是根据开启式真空管式炉改装而来的，操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处，使样品能得到一个快速的升温速度，同样也可将高温的管式炉直接推离样品处，使样品直接暴露在室温环境下，得到快速的降温速率。

技术参数：

额定功率（KW）：4

额定电压（V）：AC 208-240V Single Phase，50/60 Hz

最高温度（℃）：1200（1 hour）

持续工作温度（℃）：1100

最大升& 降温速率（℃/S）：≤20

炉管尺寸（mm）：高纯石英管Φ50×1900（管径可选）

加热区长度（mm） :230+230

恒温区长度（mm）：100+100

控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制具有超温和断偶报警功能

控温精度（℃）：±1

密封系统：炉管两端配304不锈钢水冷密封法兰（包括精密针阀，指针式真空压力表，法兰进气端配置两个Φ6mm卡套进气口。

净重（Kg）：80

射频电源500W

信号频率：13.56 MHz±0.005%

功率输出范围：L5W-500W

最大反射功率：200W

射频输出接口：50 Ω, N-type, female

功率稳定度：±0.1%

谐波分量：≤-50dbc

供电电压：单相交流（187V-253V）

频率：50/60HZ

整机效率：>=70%

功率因素：>=90%

冷却方式：强制风冷

供气系统

工作电压：185~245V 50HZ

最大输出功率：18W

流量计标准量程：100sccm，200sccm，200sccm，500sccm（非特殊指定以氮气标定，量程可选）

工作温度：5~45℃

工作压差：0.1~0.5MPa

最大压力：3MPa

准确度：±1.5% FS

测量范围：-0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid）

针阀：316不锈钢

混气罐：Φ80×120mm

截止阀：Φ6mm”316不锈钢针阀

尺寸：600×600×650 mm

低真空机组VAU-02

空气相对湿度： ≤85%

工作电电压：220V±10% 50~60HZ

抽气速率：8m³/h

极限真空：4X10-2Pa

实验真空度：1.0X10-1Pa

容油量： 1.1L

进气口口径：KF25

排气口口径：KF25

转速：1450rpm

噪音：50dB

外型尺寸：600×600×600mm