连续进出料回转CVD生长设备
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连续进出料回转CVD生长设备
来源:安徽贝意克设备技术有限公司
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简介: 该设备炉管可360°旋转,有助于粉料的烧结更均匀,可大角度倾斜,方便进出料,倾斜角度在0-35°之间。
产品详细
1、主要特点
该设备炉管可360°旋转,有助于粉料的烧结更均匀,可大角度倾斜,方便进出料,倾斜角度在0-35°之间。

2、设备组成:加热系统,进料系统,出料系统,气体控制系统,低真空系统,炉管转动系统,电控操作系统。
(1)加热系统:
该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,特别适合于科研单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热,适合中低温度加热系统。
高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统,控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控温,电力调制器控制;负载采用小电压大电流控制,从而大大提高了发热元件的寿命,测温元件采用K型热偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数,无须操作人员的干预,可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号,同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求。

额定功率
4KW
额定电压
AC220V 50/60Hz
最高温度
1200度
使用温度
1100度
炉管尺寸
Φ60*420*2+Φ100*360mm 

炉管旋转速率
0~60r/min
炉体倾斜角度
0~35°
炉膛材料
氧化铝、高温纤维制品
热电偶类型
K型热电偶
控温精度
±1℃
控温方式
30段可编程控温,PID参数自整定,
操作界面为10”液晶触摸屏控制
加热长度
200mm+200mm
恒温长度
250mm
加热元件

电阻丝


 (2)进料系统:

送料系统速度连续可调,停止送料且炉体倾斜最大时,物料不会从送料系统外漏,送料系统方便拆卸,拆卸后可手动加料,设备可正常运行。

(3)出料系统:
出料系统在炉体倾斜出料时可自动出料。

(4)气体控制系统:
该控气系统是可以控制两种气体按照不同流量进行混合配比的,也可以独立控制,质量流量计安装于密封的可移动的机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成。

连接头类型
双卡套不锈钢接头
标准量程(N2)
第一路: 200 SCCM
第二路: 500 SCCM
第三路量程可选
准确度
±1.5%F.S
线性
±1%F.S
重复精度
±0.2%F.S
响应时间
气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec
工作压差范围
0.1~0.5 MPa
最大压力
3MPa
接口
Φ6,1/4''
显示
4位数字显示
工作环境温度
5~45高纯气体
压力真空表
-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀
Φ6
内外双抛不锈钢管

Φ6


 (5)低真空系统:
该系统配备真空机械泵,可以抽真空,可以让设备在真空环境下进行反应。

空气相对湿度
≤85%
工作环境
5℃~40℃
工作电电压
220V±10% 50~60HZ
功率
1KW
抽气速率
10m³/h
极限真空

5X10-1Pa

工作压力范围
1.01325X105~1.33X10-2Pa
耐压值
0.03MPa
容油量
1.1L
进气口口径
KF25
排气口口径
KF25
噪音
50dB
连接方式
采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连  

 (6)炉管转动系统:
炉管转动系统可以让炉管360°匀速转动,转速在0-60r/min连续可调,且能在60r/min转速下长时间运行。

 3.技术指标:
(1)该设备炉管可360度旋转,管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结得更均匀;
(2)整个炉子和送料、收料系统能够一起倾斜,方便出放料,倾斜角度在0~35°之间可调;
(3)送料系统送料速度连续可调,停止送料且炉体最大倾斜时,物料不从送料系统外漏。送料系统方便拆卸,拆卸之后可以手动加料,设备可正常运行。
(4)炉管回转稳定,不会上下左右跳动;转速在0~60r/min连续可调,能在60r/min转速下连续长期运转(>24h)。
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标签:CVD生长设备,CVD真空生长炉
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