KLA工业型P7/P·17型-台阶仪

探针式轮廓仪 / 台阶仪 / P-17 Stylus Profiler产品名称：P-17 Stylus Profiler品牌：KLA-Tencor / KLA.型号：P-17 P-17支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量，适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。

探针式轮廓仪 / 台阶仪 / P-17 Stylus Profiler

P-17支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量，适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。

产品描述

P-17是第八代台式探针轮廓仪，是40多年的表面量测经验的结晶。该系统业界，支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。

该系统结合了UltraLite®传感器、恒力控制和超平扫描平台，因而具备出色的测量稳定性。通过点击式平台控制、顶视和侧视光学系统以及带光学变焦的高分辨率相机等功能，程序设置简便快速。 P-17具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法，可以支持2D或3D测量。 并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。

主要功能

台阶高度：几纳米至1000μm

微力恒力控制：0.03至50mg

样品全直径扫描，无需图像拼接

视频：500万像素高分辨率彩色摄像机

圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差

软件：简单易用的软件界面

生产能力：通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化

主要应用

台阶高度：2D和3D台阶高度

纹理：2D和3D粗糙度和波纹度

形状：2D和3D翘曲和形状

应力：2D和3D薄膜应力

缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌

工业应用

大学、研究实验室和研究所

半导体和化合物半导体

LED：发光二极管

太阳能

MEMS：微机电系统

数据存储

汽车

医疗设备

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