反射膜厚仪/测厚仪/F50系列

自动多点测量成像

Filmetrics F50 系列的产品能以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度。一个电动R-Theta 平台可接受标准和客制化夹盘，样品直径标配200mm，可达450mm。(稳定的样品台在我们的量产系统能够执行数百万次的量测!)

測绘圖案可以是极座標、矩形或线性的，您也可以创造自己的测绘方法，并且不受测量点数量的限制。內建数十种预定义的测绘圖案。

不同的F50型号仪器是根据波长范围来加以区分的。 标准的F50是受欢迎的产品。一般较短的波长(如F50-UV) 可用于测量较薄的薄膜，而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

可测样品膜层：

基本上所有光滑的，非金属的薄膜都可以测量。

可测样品包括：

氧化硅 氮化硅 类金刚石 DLC

光刻胶 聚合物 聚亚酰胺

多晶硅 非晶硅 硅

额外的好处：

· 每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种

· 应用工程师可立刻提供帮助(周一 - 周五)

· 网上的 “手把手” 支持(需要连接互联网)

· 硬件升级计划