半导体用精密零部件
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半导体用精密零部件
来源:宁波江丰电子材料股份有限公司
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简介:
PVD机台用Clamp Ring、Collimator;CVD、etching机台用face plate、shower head等;化学机械研磨机台用金刚石研磨片、Retaining Ring等。
工作原理
技术参数
选型原则
应用案例
设备结构
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