半导体用精密零部件
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半导体用精密零部件
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简介： PVD机台用Clamp Ring、Collimator；CVD、etching机台用face plate、shower head等；化学机械研磨机台用金刚石研磨片、Retaining Ring等。
工作原理 技术参数 选型原则 应用案例 设备结构
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