激光气体分析仪的测量原理是半导体激光光谱吸收技术( Tunable diode laser absorption spectroscopy ,TDLAS),TDLAS *早于 20 世纪 70 年代提出。初期的 TDLAS 技术只是一种实验室研究用技术,随着半导体激光技术在 20 世纪 80 年代的迅速发展,特别是20 世纪 90 年代以来,基于 TDLAS 技术的现场在线分析仪表已逐渐发展成熟,能够在各种高温、高粉尘、高腐蚀等恶劣的环境下进行现场在线的气体浓度测量。
半导体激光光谱吸收技术 TDLAS 本质上是一种光谱吸收技术,通过分析激光被气体分子的选择性吸收来获得气体的浓度。它与传统红外光谱吸收技术的不同之处在于,半导体激光光谱宽度远小于气体吸收谱线的展宽,如图 2-1。因此,半导体激光吸收光谱技术是一种高分辨率的光谱吸收技术。系统采用特定波长的激光束穿过被测气体,激光强度的衰减与气体的浓度有一定的关系,因此可以通过检测激光强度的衰减信息分析获得被测气体的浓度。采用半导体激光吸收光谱技术的激光气体分析仪可从原理上抗背景气体的干扰,测量结果可靠性高。
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