分子式： ZnO-Ga₂O₃
纯度： 99.99%
GZO靶材采用化学气相传输法超高纯ZnO(≥99.9995%)及区域熔炼Ga₂O₃(≥99.999%)，通过等离子活化烧结(PAS)工艺制备的透明电极/压电催化双功能靶材。核心特性包括：
•缺陷工程晶格(Ga³⁺占位率 **>98%**，氧空位浓度可控范围 10¹⁶-10²⁰ cm⁻³)
•宽域光电调控(载流子迁移率 **>65 cm²/V·s**，可见光平均透过率 **>95%@550nm**)
•多物理场耦合(压电系数 d₃₃≥12 pC/N，催化活性位密度 **>10¹⁵ sites/cm²**)
•极端环境稳定性(85℃/85%RH老化1000h电阻变化 <3%，抗质子辐照 **>10¹⁵ p/cm²**)
在磁控溅射中实现柔性OLED电极方阻≤5Ω/□，压电光催化分解水产氢速率**>8.2mmol/g/h**，突破透明导电材料光电效率-机械响应不可兼得的局限。
核心价值源于缺陷-压电协同
➊ 光电器件革新
·低损伤成膜(溅射损伤深度<2nm，表面粗糙度<0.3nm RMS)
·超均匀导电(方阻均匀性 ±1.5%@6英寸)
➋ 能量转换突破
·压电-光生载流子耦合效率 **>37%
·全光谱催化响应(紫外-可见光转换率>83%**)
➌ 智能感知特性
·多参数同步响应(应力/光强/温度交又灵敏度<0.3%)
·自供能传感(能量转换效率 **>15%**)
氧化锌掺氧化镓(GZO)产品应用
◉ 先进显示技术
▸ 可折叠屏透明电极(弯折寿命 **>200万次@R=1mm**)
▸ 微型LED巨量转移键合层(接触电阻 <10⁻⁷ Ω·cm²)
◉ 清洁能源系统
▸ 压电-光电催化水分解膜(太阳能转换效率 18.5%)
◉ 极端环境传感
▸ 核反应堆堆芯状态传感(耐辐照温度 **>800℃**)
▸ 深空探测器透明天线(通信频段 1-40GHz透过率>92%)
◉ 人机交互界面
▸ 人工皮肤触觉传感阵列(空间分辨率 0.5mm)
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京公网安备 11010702002294号
