工艺研究用大尺寸钴靶
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工艺研究用大尺寸钴靶
来源：北京中金研新材料科技有限公司
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简介： 钴靶材具有优良的硬度、热稳定性、耐腐蚀性等性能，可以应用在半导体器件、光电器件、磁性存储材料、电子元件、传感器、光伏电池等制造领域，使用时利用高能粒子轰击靶材在基材表面沉积形成薄膜。 在集成电路领域，高纯钴靶材发挥着重要作用，在先进工艺制程下可以提高芯片导电性能，降低芯片功耗，提升芯片频率响应速度。
工作原理 技术参数 选型原则 应用案例 设备结构
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