高纯度科研用铜靶
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高纯度科研用铜靶
来源:北京中金研新材料科技有限公司
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简介:
铜靶材(Copper Target)是真空镀膜行业溅射靶材的一种,由高纯度铜材料经加工制成特定尺寸和形状,适配磁控溅射、射频溅射等工艺,用于镀制半导体薄膜、导电膜等功能膜层 [。主要应用于集成电路、半导体显示、光伏产业、新能源锂电、通信、超导、航天等领域 。产品形态包含平面靶(圆形/方形)、旋转靶(管状)及异型定制靶材 。
工作原理
技术参数
选型原则
应用案例
设备结构
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