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钴铁钽锆合金靶材

来源：河北瑞弛新材料有限公司
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简介： 钴铁钽锆靶材是由高纯钴、铁、钽、锆经高真空熔炼得到的靶材，该工艺能够有效控制成品靶材的氧含量，采用特殊的冷却模具，是合金液体快速冷却，得到的合金靶材组织结构均匀，成分分布均匀，组织细小，经过高温高压致密化处理，使得材料极为致密，这为其溅射出高品质薄膜提供了保障。经过热处理后，靶材的磁头率(PTF)显著提高，钴铁钽锆靶材沉积的薄膜是垂直磁记录膜层中重要的软磁层。

产品详细

产品详细参数如下：

产品类别合金靶材

产品简称 CoFeTaZr

产品全称 Cobalt iron tantalum zirconium

产品纯度 99.9%，99.95%，99.99%

产品形状平面靶，柱状靶，电弧靶，异型靶

生产工艺 Vacuum Melting

最大尺寸 L≤200mm，W≤200mm

钴铁钽锆合金靶材产品详情：

钴铁钽锆靶材是由高纯钴、铁、钽、锆经高真空熔炼得到的靶材，该工艺能够有效控制成品靶材的氧含量，采用特殊的冷却模具，是合金液体快速冷却，得到的合金靶材组织结构均匀，成分分布均匀，组织细小，经过高温高压致密化处理，使得材料极为致密，这为其溅射出高品质薄膜提供了保障。经过热处理后，靶材的磁头率(PTF)显著提高，钴铁钽锆靶材沉积的薄膜是垂直磁记录膜层中重要的软磁层。