产品详细参数如下：
产品类别 合金靶材
产品简称 TiSi
产品全称 Titanium silicon
产品纯度 99.7%，99.9%，99.95%
产品形状 平面靶，柱状靶，电弧靶，异型靶
生产工艺 Vacuum Melting，PM
最大尺寸 L≤2000mm,W≤200mm
钛硅合金靶材产品详情：
钛硅(TiSi)靶材在反应沉积过程中与氮气反应，能理想的形成超硬的氮化物涂层。涂层中的硅元素保证了其高抗氧化性，硬度则由钛元素来保证，即便在极高的温度下，氮化钛硅涂层也有很优异的耐磨性。涂有氮化钛硅涂层的刀具不仅有优异的耐磨性，还可以进行干式切削，可加工的材料包括
镍基合金和钛合金等超级合金。
典型的TiSi靶材及性能
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京公网安备 11010702002294号
