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高纯钛靶材

来源：北京中科言诺新材料科技有限公司
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简介： 钛靶材由钛金属制成钛元素符号 Ti ，原子序数 22 ，密度 4.454g/Cm3 ，物理性质：熔点 1668℃，沸点 3262℃，比热容 0.52（J /(Kg•K) ，蒸发热 421（KJ/Mol），熔化热 15.45（KJ/Mol），导电率 0.0234（106/Cm）。由于高纯钛的成本相当昂贵，应用领域极其有限，主要用作半导体材料和超高真空装置中的吸气材料。

产品详细

货号 Ti01413

服务纯度、规格、包装均可定制

钛靶材由钛金属制成钛元素符号 Ti ，原子序数 22 ，密度 4.454g/Cm3 ，物理性质：熔点 1668℃，沸点 3262℃，比热容 0.52（J /(Kg•K) ，蒸发热 421（KJ/Mol），熔化热 15.45（KJ/Mol），导电率 0.0234（106/Cm）。由于高纯钛的成本相当昂贵，应用领域极其有限，主要用作半导体材料和超高真空装置中的吸气材料。高纯钛具有吸气性，特别是吸氢、CH4、Co2气体，因此它能在高真空和超高真空系统中获得广泛应用。中科言诺生产的高纯钛溅射制作LSI、VLSI、ULSI的线路网时，可使这些集成件变得格外轻、薄、尺寸小而且线路密集。高纯钛靶材也可以用作阻挡层金属材料。