镍铂合金靶材
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镍铂合金靶材
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简介： 镍铂合金靶材是一种银灰色金属靶材，熔点1400-1650°C；密度18.63克/厘米3；电阻率 29.8 µΩ·cm（20°C）中科言诺生产的镍铂合金靶材广泛应用于半导体工业。通过磁控溅射，镍铂合金靶材在硅器件表面沉积并反应生成镍铂硅化物薄膜，实现半导体接触及互连。
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镍铂合金靶材

镍铂合金靶材是一种银灰色金属靶材，熔点1400-1650°C；密度18.63克/厘米3；电阻率 29.8 µΩ·cm（20°C）中科言诺生产的镍铂合金靶材广泛应用于半导体工业。通过磁控溅射，镍铂合金靶材在硅器件表面沉积并反应生成镍铂硅化物薄膜，实现半导体接触及互连。
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标签：镍铂合金靶材,合金靶材
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