气氛管式炉
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气氛管式炉
来源：合肥日新高温技术有限公司
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简介： RGL系列气氛管式炉主要应用于半导体材料的扩散、氧化工艺；也可应用于玻璃对金属的封装焊接、石英制品的热处理、LED发光粉体材料的煅烧等工艺。
工作原理 技术参数 选型原则 应用案例 设备结构
采用高纯石英管作为内炉膛，具有良好的洁净度；耐火、保温材料全部采用先进的轻质纤维制品，整机能耗低，升温快；加热元件采用真空成型FEC陶瓷纤维加热器；温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制，温度控制具有良好的稳定性重复性。
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标签：高温真空气氛管式炉,管式电阻炉,碳化硅管高温炉,半导体材料扩散炉,硅碳棒加热高温管式炉
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