设备名称
小型程序控温蒸发镀膜仪-SL-100X-SPC-2
主要特点
直径6英寸的石英腔体，便于清洁和放入样品。
安装有一个英的样品台，并且样品台可以旋转，使所制潇膜更加均匀。样品台和蒸发源之间的距离可以调节气体流量端口和阀门内置可用于腔室净化和cvD实验。
基本参数
控温方式:手动控温/程序控温
控温精度:+/-1C
腔体真空度:5*10^-SPa(表压只能显示到1*10^-1Pa).样品室:石英腔体:167mmOD.x 152mm Dx260mm H基片:可装载基片最大尺寸为50mm
输出电压:DC18V
最大输出电流:≤20A
输入电源:AC220V/50Hz
输入功率:<500w
温控及加热源
采用5型热电偶(工作温度为200C-1500C)
可选B型热电偶(工作温度为1200C-1700C)
安装有一个数显的温度控制器:可设置30段升降温程序，控温精度为+/-1°C温度控制器的时间设置以秒为单位建议将升温/降温速率限制在1200°以下0.39C/s(20°C/ min)在1200 -1500 c限制到0.15°C/s(10°C/mi)仪器中配有钨丝篮及
氧化铝場
进气口进气接口为1/4NPS,可向真空腔体中通入惰性气体，对腔体进行清洗,也可通入反应气体，进行反应蒸发镀膜
进气口安装有一针阀，用于调节进气流量
尺寸 L440mmx W330mm x H630mm
重量 40 kg
质保 一年质保期,终生维护
特别提示:
1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
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京公网安备 11010702002294号
