简介：
这款CVD系统是由3路供气系统+1200度单温区管式炉+真空系统组成。
技术参数：
性能
控温范围 室温-1200℃
工作温度 ≤1100℃
控温精度 <1000 ±0.1℃ ; ≥1000±1℃
恒温波动 ±1℃(测试点为1000℃)
升温速度 推荐1000度以下≤10℃/min，最快升温速度≤30℃/min
降温速度 700℃以上≤10℃/min
炉表温度 炉体表面温度小于室温+10(测量点为1000℃)
构成
外装 冷轧钢板，表面耐药性涂装
炉体 陶瓷纤维
加热元件 HDR优质电阻合金丝
冷却风叶 轴流风扇
炉体结构 双层壳体结构，配有风冷系统
控制器
控制方式 PID控制
设定表示 数字设定/数字显示
超温保护 控制器一体型
超温设定 数字设定
运行功能 定制运行/程序运行(30段程序控温)
附加功能 偏差修正、停电补偿、锁键功能
定时器 1分-99小时59分以及999小时50分数字设定、自动运行、快速自动停止
真空系统
真空度 1.选配机械泵可达真空 10的-2次pa 2.选配我司高真空系统(机械泵+分子泵组合)，可达1.33*10的-4次方pa(空炉状态)
炉管 石英管
真空法栏 不锈钢真空法兰
压力表 -0.1至0.15mpa
供气系统 质子流质计 量程和气体：5-500SCCM、1-10SLM (你可以任意选择以上量程和所通气体的类型) 流量控制精度 ±1.0%F.S
路数 1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意选择几路)
接头类型 双卡套不锈钢接头
压力真空表表 -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格
安全
工作环境 RT±5-40℃
使用保障 开门断电 超温报警 漏电保护 过温保护
规格
炉体结构 卧式
炉管尺寸 Φ60mm
电源电压 220V50HZ
输入功率 4KW
出厂清单
管式炉 一台
供气系统 一套
高温手套 卡斯顿一双
炉勾 一把
气管 一根
设备说明书 一份
仪表说明书 一份
保修卡 一份
选购品
移动炉架 不锈钢
触摸屏仪表485转换接口 50段编程，可实现与计算机连接。通过专用的计算机控制系统来完成与单台或多台电炉的远程控制、实时追踪、历史记录、输出报表等功能。
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京公网安备 11010702002294号
