工作原理

M1100采用激光干涉与相移技术，通过分光镜将激光束分为参考光与物光：物光穿透或反射样本后，与参考光叠加形成干涉条纹，其相位与强度变化携带样本深度信息。设备搭载高速图像传感器，可自动采集多焦面图像，结合傅里叶变换与相移算法，解算出各深度层形貌数据，最终生成高分辨率三维图像。其远心光学系统设计确保图像畸变率低于0.1%，支持亚微米级测量精度。

应用范围

在材料科学中，M1100可分析金属断口形貌、复合材料界面结合状态及晶体缺陷；工业检测领域，适用于微电子芯片封装质量评估、精密零件表面粗糙度测量及锂电池电极材料孔隙率分析；科研教学中，支持生物学细胞三维结构观察、地质学矿物晶粒度统计及金相组织相含量分析。设备兼容多行业检测标准，如ISO 25178表面纹理分析规范。

技术参数

光学系统：远心连续变倍，支持30X-10000X无缝变焦

图像传感器：500万像素CMOS，帧率≥35fps

景深合成：自动采集20-100张不同焦面图像，融合后景深扩展50-200倍

3D测量精度：高度测量重复性≤0.1μm，体积测量误差＜1%

载物台：电动XY轴行程≥130mm×100mm，Z轴电动行程≥60mm，最大载重5kg

照明系统：环形LED+同轴光双模式，亮度0-100%无级调节，支持HDR技术消除反光

产品特点

全焦面成像：通过0.1μm电动Z轴步进与智能算法，一键生成全幅清晰3D图像，避免传统显微镜手动调焦的繁琐操作。

多维度测量：支持点间高度差、体积、表面积、线粗糙度（Ra/Rq）及面粗糙度（Sa/Sz）等20余项参数测量，数据可导出为CSV/PDF格式报告。

智能分析软件：内置AI缺陷检测模块，可自动识别裂纹、孔洞等缺陷并标注位置，测量效率较传统方法提升3倍以上。

人性化设计：150°可倾斜观察筒与低手位XY轴调节旋钮，适配复杂样本的多角度观测需求；兼容Windows/Linux系统，支持远程操控与数据共享。