工作原理
Xpearl Plus基于X射线穿透衰减原理,通过225kV微焦点X射线源发射高能射线束,穿透样品后由平板探测器接收衰减信号。系统采用第三代锥束CT扫描模式,样品随高精度转台360°旋转,同步采集多角度投影数据,结合Feldkamp-Davis-Kress(FDK)滤波反投影算法,重建出高分辨率三维断层图像。其最小焦点尺寸达3μm,配合139μm像素尺寸探测器,可清晰分辨金属、陶瓷等材料的内部微结构,如200μm级缩孔或10μm级裂纹。
应用范围
航空航天:检测涡轮叶片热障涂层厚度、发动机舱体焊接缺陷,确保飞行安全;
半导体制造:分析芯片内部布线层间缺陷、晶圆键合质量,优化封装工艺;
汽车工业:测量变速器壳体孔径、电池电芯内部结构,提升产品良率;
材料科学:研究复合材料孔隙率分布、金属3D打印件内部缺陷,指导工艺改进。
技术参数
射线源:225kV微焦点X射线枪,最小焦点3μm,最大管功率320W;
检测范围:最大样品尺寸φ450mm×600mm,最大承重25kg,铝穿透能力150mm;
成像性能:分辨率2.0μm,成像视野430mm×430mm,扫描速度5分钟/件;
机械精度:转台精度1弧秒,Z轴定位精度±0.1μm,支持螺旋扫描模式提升效率。
产品特点
高精度成像:亚微米级分辨率可检测微小缺陷,支持三维体积渲染与孔隙率分析;
非破坏性检测:无需拆卸样品即可获取内部结构,适用于精密电子元件或文物修复;
智能分析软件:内置数模对比、尺寸测量、逆向工程模块,支持STL/OBJ格式导出;
安全与便捷性:辐照安全优于1μSv/h,开放式微焦点射线管设计降低维护成本,紧凑结构节省实验室空间。