工作原理

EVO10采用钨灯丝作为电子源，通过加热钨丝产生热电子束，经电磁透镜系统聚焦后扫描样品表面。二次电子（SE）探测器捕捉样品表面形貌产生的低能电子，生成高对比度表面图像；背散射电子（BSE）探测器则通过分析高能电子与样品原子核碰撞后的散射信号，反映材料密度差异。设备支持0.2-30kV可调加速电压，配合智能电子束减速技术，可在低电压下减少样品损伤，尤其适用于生物样品或敏感材料的无损检测。

应用范围

材料科学：分析金属、陶瓷、复合材料的断裂面形貌，揭示裂纹扩展机制；

半导体工业：检测芯片表面污染颗粒、焊锡层IMC过渡区厚度，优化封装工艺；

生物医学：观察细胞骨架结构、血小板聚集形态，支持组织工程研究；

失效分析：定位金属断口疲劳条纹、腐蚀产物分布，快速锁定材料失效根源。

技术参数

分辨率：二次电子像≤3.0nm（30kV），背散射电子像≤4.0nm（30kV）；

放大倍率：7×-1,000,000×连续可调，支持微米至纳米级多尺度观察；

样品室：直径310mm×高220mm，最大承重5kg，适配五轴电动样品台（X/Y/Z/倾斜/旋转）；

探测器：标配SE、BSE探测器，可选配能谱仪（EDS）实现元素定性定量分析。

产品特点

高灵敏度成像：低真空模式（10-400Pa）支持非导电样品直接检测，无需喷金处理；

智能操作：配备SmartSEM Touch触屏软件，支持一键自动聚焦、图像拼接及伪彩色渲染；

多功能扩展：可集成EBSD模块进行晶体取向分析，或联用拉曼光谱仪实现原位化学表征；

工业级可靠性：涡轮分子泵+机械泵真空系统，3分钟内达到3×10⁻⁴Pa高真空，确保长时间稳定运行。