工作原理
GSS300基于高频超声脉冲反射原理,通过200MHz定制化压电换能器发射超短脉冲超声波(波长50μm级),穿透样品后,反射信号经低噪声放大器与高速AD采样模块(2GS/s采样率)实时捕获。设备搭载FPGA+GPU并行处理系统,可快速解析反射波的时域、频域特征,结合高精度三维扫描平台(X/Y轴分辨率达1μm,Z轴步进精度0.1μm),实现每秒5000个扫描点的数据采集与成像,最终生成高对比度C扫描、B扫描及三维重构图像,精准定位材料内部微裂纹、孔隙、分层等缺陷。
应用范围
该设备广泛应用于半导体封装(晶圆级封装、3D IC内部互连缺陷检测)、先进材料(5G通信用低介电常数基板、陶瓷基复合材料界面结合强度评估)、精密电子(PCB微孔孔壁质量、MEMS传感器内部结构分析)及生物医用(人工关节涂层厚度、药物缓释载体内部孔隙率测试)等领域。其非接触式检测模式与50μm级分辨率,尤其适合高价值微电子器件、航空航天复合材料及新能源电池极片等产品的质量控制。
技术参数
GSS300工作频率200MHz,聚焦探头焦距10-30mm可调,扫描速度最高达1200mm²/s(C扫描模式)。设备配备15.6寸4K触控屏,支持多语言界面与自定义扫描路径规划;内置2TB固态硬盘,存储容量超50万幅图像,数据格式兼容MATLAB、ImageJ等分析软件。工作台行程150×150mm,负载能力3kg,适应不同尺寸样品检测需求。
产品特点
超高速微米成像:50μm级分辨率下扫描速度突破1200mm²/s,较传统设备效率提升5倍,满足产线在线检测需求。
多模态智能分析:支持C/B扫描同步采集与3D重建,内置AI缺陷分类算法,可自动识别裂纹、气孔等缺陷类型并生成统计报告。
高稳定性光路设计:全封闭式超声探头与恒温控制系统,确保设备在0-40℃环境下长期运行稳定性,信号重复性≤0.5%。
模块化扩展功能:支持高频探头(最高500MHz)、自动化样品台等选配模块,可灵活升级以适应未来检测需求。