工作原理

该设备采用高精度直线光栅尺与金刚石触针接触式测量原理，通过驱动箱带动触针沿样品表面纵向移动，触针在垂直方向因表面起伏产生位移，其微小变化由高分辨率位移传感器（分辨率0.8nm）实时捕捉，并转化为电信号传输至控制系统。系统结合光栅尺的横向位置数据，生成表面轮廓曲线，通过内置分析软件自动计算Ra、Rz、Rt等粗糙度参数及轮廓算术平均偏差等形貌指标。

应用范围

适用于精密五金件（如轴承滚道、液压阀芯）的表面粗糙度检测、模具型腔（如压铸模、注塑模）的抛光质量评估、汽车零部件（如缸体、齿轮）的摩擦面形貌分析，以及电镀层、氧化膜的厚度均匀性测量。其高测量精度尤其适合对表面质量要求严苛的场景，如光学镜面抛光、半导体封装基板等。

技术参数

测量范围X轴（纵向）80mm，Z轴（垂直）±2mm，触针针尖半径2μm，测量力1-15mN可调。垂直分辨率0.8nm，线性度误差≤0.05%，示值重复性≤1%。设备配备7英寸彩色触摸屏，支持中英文双语操作，数据存储容量达1000组测量结果，可通过USB/RS232接口连接打印机或SPC质量管理系统。

产品特点

纳米级测量精度：0.8nm垂直分辨率，满足超精密加工表面检测需求。

智能分析软件：内置GB/ISO/ASME等多国标准，一键生成形貌分析报告。

模块化触针设计：支持快速更换不同半径触针，适配不同粗糙度量程。

人体工学操作台：可升降载物台与旋转样品夹具，提升复杂曲面测量效率。