工作原理

V4-400采用气浮导轨与激光干涉测量技术：

气浮支撑：压缩空气通过导轨表面的微孔形成均匀气膜，使测量滑台悬浮于导轨表面，消除机械摩擦与爬行现象，实现纳米级运动平稳性；

位移感知：内置氦氖激光干涉仪，通过测量滑台反射镜与固定参考镜之间的光程差变化，实时计算垂直位移量；

环境补偿：集成温度、气压传感器，自动修正空气折射率变化对激光波长的影响，确保测量结果不受环境波动干扰。

应用范围

该设备适用于多场景高精度垂直测量需求：

精密加工：检测机床工作台垂直度、主轴轴向跳动，验证加工中心定位精度；

半导体制造：测量晶圆厚度、键合间隙，保障光刻机对焦一致性；

光学元件：检测透镜曲率半径、平行度，优化光学系统成像质量；

科研实验：校准纳米位移台、压电陶瓷驱动器等精密运动部件的行程误差。

技术参数

测量范围：0-400mm

分辨率：0.001μm（激光干涉仪原始信号）

精度：±(0.1+L/5000)μm（L为测量长度，单位mm）

重复性：≤0.05μm

最大速度：100mm/s（气浮滑台无负载时）

环境适应性：温度20±2℃，湿度≤60%RH（恒温车间优先）

数据接口：USB 3.0、RS422、以太网（支持实时数据流传输）

产品特点

超精密无摩擦测量：气浮导轨技术消除机械接触误差，长期稳定性优于滚珠导轨3倍；

动态响应优异：激光干涉仪采样率达1MHz，可捕捉微秒级振动信号；

模块化设计：导轨与测量系统分离，支持快速更换不同量程滑台（可选100mm/600mm扩展模块）；

智能补偿软件：内置21项误差补偿模型，自动修正阿贝误差、余弦误差等系统偏差。