工作原理
该探头支持光学干涉与电磁感应双模式测量:光学模式下,激光或白光穿透薄膜表面,上下界面反射光形成干涉图样,通过分析相位差与波长关系计算厚度电磁感应模式下,利用高频交变电流在线圈中产生磁场,通过检测金属基材表面涡流反馈信号推导涂层厚度。双模式自适应切换,兼顾透明/非透明材料的测量需求。
应用范围
广泛应用于半导体制造(芯片薄膜层监控)、光学元件(镜头镀膜厚度检测)、新能源电池(电极涂层均匀性分析)、汽车工业(车身漆层厚度控制)及航空航天(复合材料涂层评估)等领域,尤其适用于曲面、微小区域及多层膜结构的在线或离线检测。
技术参数
测量范围:0.1nm-10mm(光学模式);0.1μm-2mm(电磁模式)
分辨率:0.01nm(光学);0.1μm(电磁)
精度:±0.5%读数或±0.1μm(取较大值)
探头尺寸:直径12mm×长度50mm(可定制)
接口:支持USB/RS232/蓝牙数据传输,兼容工业总线协议
产品特点
模块化设计:探头与主机分体式结构,支持快速更换以适应不同测量场景,便携性显著提升。
智能算法:内置AI补偿系统,自动修正材料折射率、温度漂移及表面粗糙度对数据的影响。
实时反馈:2.4寸TFT彩色液晶屏动态显示厚度曲线,支持峰值/谷值捕捉及统计功能。
耐用性:探头采用钛合金外壳与蓝宝石镜片,抗腐蚀、耐磨损,适用于恶劣工业环境。
该产品以“精准、灵活、智能”为核心优势,为薄膜厚度检测提供了高效解决方案,是质量管控与工艺优化的理想工具。