工作原理
OST-JX40BD采用无限远色差校正光学系统,通过柯拉照明提供均匀垂直光照,样品表面反射光线经长工作距平场消色差物镜聚焦形成实像,再由高眼点平场目镜二次放大,最终呈现清晰无畸变的显微图像。设备配备电动调焦机构,支持0.1μm级微调,配合高精度载物台(移动范围100mm×80mm),可实现多视场拼接测量。其核心优势在于光学系统与测量模块的深度集成,成像与测量同步完成,避免传统显微镜“先观察后测量”的误差累积。
应用范围
该设备广泛应用于金属材料研发与生产环节:在钢铁行业,用于检测连铸坯晶粒度、夹杂物评级;在汽车制造领域,可分析齿轮渗碳层深度、发动机缸体裂纹形态;在电子行业,适用于半导体晶圆表面缺陷定位与尺寸验证。其非接触式测量特性,尤其适用于高温合金、钛合金等贵重材料的无损检测,避免传统接触式测量对样品的划伤。
技术参数
OST-JX40BD配备5X-100X长工作距物镜组,总放大倍数覆盖50X-1000X;载物台承重达5kg,支持X/Y/Z三轴电动控制;光源系统集成6分区LED环形灯与透射光源,亮度0-100%线性可调;测量软件支持GB/T、ASTM等国际标准,可自动计算晶粒尺寸、相比例、孔隙率等参数,数据输出兼容Excel与MES系统。
产品特点
设备采用一体化模块化设计,物镜转换器定位精度≤0.002mm,确保多倍率切换时视场中心偏移<0.5%;内置1200万像素CMOS传感器,支持4K超清图像采集与景深合成;测量模块通过ISO 17025认证,重复性误差≤0.3μm,满足半导体行业严苛标准;可选配激光共聚焦模块,实现表面粗糙度与三维形貌测量,拓展设备应用场景。