工作原理

NANOS基于电子束与样品相互作用原理，通过钨灯丝电子枪发射1-20kV可调加速电压的电子束，经电磁透镜聚焦后扫描样品表面。二次电子（SE）与背散射电子（BSE）信号被专用探测器捕获：SE探测器提供高分辨率表面形貌图像，BSE探测器通过四分割设计实现成分对比成像，可独立分析样品形貌或成分细节。设备配备一体式硅漂移EDS能谱仪，同步采集特征X射线信号，实现形貌-成分关联分析。

应用范围

该设备覆盖多领域检测需求：在材料科学中，可分析金属晶粒度、陶瓷孔隙分布及高分子材料相分离结构；电子制造领域支持PCB板焊点虚焊检测、芯片封装层厚度测量及微小元器件形貌分析；生物医学领域适用于细胞群体观察与组织切片三维重建；新能源行业可分析电池材料颗粒分布与电极表面形貌。其低真空模式（0.1-300Pa）可消除不导电样品荷电效应，无需镀膜即可直接观察生物样本或高分子材料。

技术参数

分辨率：二次电子/背散射电子图像分辨率均＜8nm（15kV）

放大倍数：光学2-12x，电子束50-200,000x连续可调

样品台：五轴电动控制（X/Y/Z/R/T），行程X80mm×Y40mm×Z48mm，倾斜角度-55°至+55°

探测器：标配SED、四分割BSD及EDS能谱仪，支持点分析、线扫描与元素面分布成像

真空系统：双模式设计，高真空模式（＜6×10⁻³Pa）与低真空模式自动切换

产品特点

优中心样品台：倾转观察时样品自动保持聚焦，无需重新对焦，提升多角度分析效率

智能导航系统：内置光学相机自动定位样品，高倍率下仍可精准导航至目标区域

长寿命灯丝：优化束流模式使钨灯丝寿命延长至500小时以上，降低使用成本

模块化设计：支持离子束切割、等离子清洗等附件扩展，满足复杂样品制备需求

用户友好界面：提供简易/高级双模式操作，支持iPad远程控制与无线鼠标交互