工作原理

MX4R采用激光三角测距与压电陶瓷驱动的闭环自动对焦系统，通过发射650nm可见激光至样品表面，接收反射光斑位置变化并计算物距，驱动载物台或物镜以微米级步进（最小0.1μm）快速合焦，响应时间≤0.2秒。同时，设备集成Nomarski微分干涉模块，将入射光分解为两束偏振光，经样品表面高度差调制后形成干涉图像，使未染色的透明结构（如晶圆缺陷、金属晶界）呈现三维浮雕效果，突破传统显微镜对染色标记的依赖。

应用范围

该设备覆盖三大核心场景：半导体行业用于晶圆表面划痕、粒子污染、薄膜均匀性检测；电子制造领域支持显示屏COG/FOG导电粒子形貌分析、PCB微孔孔径测量；金属加工行业可评估热处理后的晶粒度、焊接表面缺陷及镀层厚度。其50-1000倍放大能力与±50μm自动对焦范围，可兼容从微米级导电粒子到毫米级焊接接头的检测需求。

技术参数

MX4R配备无限远色差校正光学系统，搭载5X-100X长工作距金相物镜（NA值0.1-0.9），支持半复消色差技术以减少色散。4英寸双层机械载物台行程105×105mm，配合5W大功率LED光源（色温6500K，寿命≥50000小时），可实现明场、斜照明、偏光、DIC四模式切换。设备集成2K高清工业相机接口，外接21.5英寸显示器即可完成图像采集、尺寸测量（精度≤1μm）及录像存储，并支持USB 3.0与HDMI双通道输出。

产品特点

其一，智能对焦，一键启动自动扫描模式，可预设5个检测位点并自动完成合焦-成像-存储流程，单样本检测时间缩短60%；其二，高兼容性，自动对焦模块适配不同折射率样品（1.3-2.5），无需手动调整补偿板；其三，抗震性强，金属机架内置风冷循环系统，配合减震脚垫，可隔离0.5Hz以上振动干扰；其四，数据安全，支持图像加密存储与审计追踪功能，满足ISO 17025及GxP规范要求。