工作原理

SJ600采用双频激光干涉技术，通过氦氖激光器发射两束频率略有差异的激光，经分光镜分束后分别射向反射镜与目标测量元件。两束激光在反射过程中因频率差产生干涉信号，仪器通过光电探测器捕捉信号相位变化，结合精密计数系统计算位移量。其核心的光路补偿模块可自动修正环境温度、气压及材料折射率对测量结果的影响，确保在复杂工况下仍能保持纳米级精度。

应用范围

该设备广泛应用于数控机床定位精度检测、三坐标测量机空间误差校准、直线导轨直线度验证、机器人运动轨迹精度分析等领域。典型场景包括：半导体光刻机工作台定位精度测试、航空叶片加工中心热误差补偿、精密模具导轨磨损监测等，是高端制造领域不可或缺的精度保障工具。

技术参数

测量范围：0-80m（依配置可选）；分辨率：1nm；最大测量速度：4m/s；角度测量精度：±0.1弧秒；直线度测量精度：±(0.2+L/500)μm（L为测量长度，单位m）；工作温度：15-30℃；电源：AC 220V±10%；重量：主机15kg，激光头5kg；防护等级：IP40。

产品特点

其一，纳米级超高精度，分辨率达1nm，满足半导体、光学等尖端制造需求；其二，动态测量能力强，支持4m/s高速移动下的稳定数据采集；其三，环境自适应补偿，集成温度、气压传感器，自动修正环境干扰；其四，模块化设计，可扩展角度、直线度测量模块，实现一机多用；其五，智能化软件，配备数据分析与报告生成功能，简化校准流程。