工作原理

D600S-SiH4采用专用电化学传感器，通过流通式采样系统主动抽取气体样本，硅烷分子在传感器电极表面发生氧化还原反应，产生与浓度成正比的微电流信号。仪器对电流进行放大、转换后，实时显示为ppm单位，并支持4-20mA、RS485等信号输出，可接入PLC或DCS系统实现远程监控。设备外壳通过Ex d IIC T6 Gb隔爆认证，确保在1区/2区危险环境中安全运行。

应用范围

该设备广泛应用于半导体制造（硅烷外延工艺泄漏监测）、光伏电池生产（薄膜沉积过程安全控制）、LED芯片封装（硅烷残留检测）及职业卫生领域（实验室/废气处理场所硅烷暴露评估）。例如，在集成电路生产线，D600S-SiH4可实时监测硅烷外泄浓度，保障作业人员安全；在光伏园区，仪器用于控制反应釜周边环境，避免易燃气体积聚。

产品技术参数

检测气体：硅烷（SiH₄）

量程：0~50ppm（可扩展至200ppm）

分辨率：0.1ppm（低量程），1ppm（高量程）

精度：±3%FS（满量程误差）

响应时间：T90＜20秒（快速模式）

输出信号：4-20mA、RS485（Modbus协议）

防爆等级：Ex d IIC T6 Gb（隔爆型）

工作温湿度：-40℃~+70℃，≤95%RH（无冷凝）

防护等级：IP65（防尘防水）

采样方式：流通式（流量0~1.5L/min可调）

安装方式：壁挂式/管道式（可选）

电源：24V DC（±10%）

产品特点

防爆安全设计：隔爆型外壳通过Ex d IIC T6认证，适配1区/2区危险环境，保障易燃气体检测场景安全；

流通式采样：主动抽取气体样本，适配密闭空间或管道内硅烷浓度监测，响应速度快；

高精度与稳定性：电化学传感器专为SiH₄设计，抗交叉干扰能力强，长期运行零点漂移＜±1%FS；

实时在线监测：支持24小时连续检测，数据实时上传至监控平台，适配工业自动化控制系统；

智能报警功能：具备声光报警（两级阈值可设）与继电器输出，支持远程控制通风或联锁设备；

耐用与易维护：传感器寿命≥2年，模块化设计支持快速更换，日常仅需定期校准与清洁，运维成本低。