工作原理
该产品基于扫描电子显微镜(SEM)技术,通过高能电子束在样品表面进行栅格式扫描,激发并收集二次电子、背散射电子等信号,经探测器转换后生成高分辨率的二维或三维形貌图像。结合X射线能谱仪(EDS),可同步实现微区成分分析,精准揭示材料表面结构与元素分布特征。
应用范围
产品广泛应用于材料科学、半导体检测、生物医学、地质勘探及新能源等领域。例如:金属/陶瓷材料的断裂分析、纳米材料形貌表征、半导体器件缺陷检测、生物样本超微结构观察,以及地质矿物成分鉴定等,为科研创新与质量控制提供关键数据支撑。
产品技术参数
分辨率:优于3nm(30kV下,二次电子成像)
放大倍数:15倍至100万倍连续可调
加速电压:0.2kV~30kV多档可调
电子枪类型:高稳定性钨灯丝/场发射电子源(可选)
样品台:五轴自动控制,支持最大样品尺寸φ150mm
能谱分辨率:优于127eV(Mn Kα线)
产品特点
高精度成像:采用先进电子光学系统,实现纳米级细节捕捉,支持低电压成像以减少样品损伤。
操作便捷:全中文触控界面搭配智能导航功能,降低用户操作门槛,提升检测效率。
多功能集成:可选配能谱仪(EDS)、电子背散射衍射(EBSD)等附件,满足形貌-成分-晶体结构综合分析需求。
稳定可靠:优化设计的真空系统与冷却模块,确保长时间运行稳定性,维护成本低。
智能分析:搭载AI辅助识别算法,可自动标注特征区域并生成分析报告,提升数据解读效率。
测试狗SEM形貌分析系统凭借其卓越性能与灵活性,成为科研机构与工业企业材料表征领域的理想选择。