工作原理
C-4500采用高精度激光三角位移传感器与闭环伺服驱动系统。检测时,激光束垂直投射至被测表面,反射光经光学镜头聚焦至CMOS探测器,表面高度变化导致光斑位置偏移,系统通过实时计算偏移量与高度的线性关系,生成表面轮廓曲线。设备搭载大理石基座与空气轴承导轨,消除机械振动与热变形干扰,X轴扫描由直线电机驱动,Z轴测量分辨率达0.005μm,确保全量程高精度测量。
应用范围
该仪器适用于各类精密工件的表面形貌检测,包括半导体晶圆、光学镜片、3C电子元件(手机玻璃、陶瓷背板)、精密模具、齿轮齿形、轴承滚道及医疗器械零件等。典型应用场景涵盖:表面粗糙度分析(Ra、Rz等参数)、轮廓度测量(直线度、圆弧度、角度)、台阶高度检测、波纹度评估及密封面平面度验证,是航空航天、汽车制造、新能源电池等行业质量控制的核心设备。
产品技术参数
测量范围:X轴450mm,Z轴20mm
测量精度:±(1.5+L/500)μm(L为测量长度,单位:mm)
分辨率:X轴0.05μm,Z轴0.005μm
扫描速度:0.5-30mm/s(可调)
支持参数:ISO/GB/ASME标准下的Ra、Rz、Rq、Rt、Tp等40余种表面参数
数据接口:USB 3.1、千兆以太网,兼容SPC统计过程控制软件
产品特点
超精密稳定结构:大理石基座与空气轴承导轨组合,搭配恒温控制系统,确保长期测量稳定性。
智能全自动测量:一键启动自动完成对焦、扫描、分析全流程,支持多工件批量检测与自动生成定制化报告。
多传感器融合设计:可扩展配置白光干涉模块与接触式探针,兼容透明/反光材料与微纳结构测量。
抗环境干扰能力强:全封闭式防护罩搭配三级减震系统,适应车间、实验室等复杂环境使用。
人性化交互体验:15.6英寸触控屏搭配三维形貌实时渲染,支持远程操控与多语言操作界面。