工作原理

C-3200采用高精度激光三角位移传感器，通过发射线性激光束照射被测表面，反射光经光学系统聚焦至CMOS探测器。当工件表面轮廓变化时，反射光斑在探测器上的位置发生偏移，系统通过实时计算偏移量与高度的线性关系，生成表面轮廓曲线。设备搭载闭环伺服电机驱动的精密花岗岩导轨，确保X轴扫描的直线度与重复定位精度，Z轴测量分辨率达0.01μm，实现全量程高精度测量。

应用范围

该仪器适用于各类精密工件的表面形貌检测，包括机械加工件（齿轮、轴承、密封件）、半导体晶圆、光学镜片、3C电子元件（手机玻璃、陶瓷背板）、模具型腔等。典型应用场景涵盖：表面粗糙度分析（Ra、Rz等参数）、轮廓度测量（直线度、圆弧度）、台阶高度检测、波纹度评估及密封面平面度验证，是航空航天、医疗器械、新能源等行业质量控制的核心设备。

产品技术参数

测量范围：X轴300mm，Z轴15mm

测量精度：±(2.0+L/400)μm（L为测量长度，单位：mm）

分辨率：X轴0.1μm，Z轴0.01μm

扫描速度：0.1-10mm/s（可调）

支持参数：ISO/GB/ASME标准下的Ra、Rz、Rq、Rt、Tp等30余种表面参数

数据接口：USB 3.0、千兆以太网，兼容SPC统计过程控制软件

产品特点

超精密稳定结构：花岗岩基座与空气轴承导轨组合，消除热变形与机械振动干扰，确保长期测量稳定性。

智能全自动测量：一键启动自动完成对焦、扫描、分析全流程，支持多工件批量检测与自动生成报告。

多传感器兼容设计：可扩展配置接触式探针模块，兼容硬质材料与软质表面的混合测量需求。

抗环境干扰能力强：全封闭式防护罩搭配恒温控制系统，适应车间、实验室等复杂环境使用。

人性化交互体验：10.1英寸触控屏搭配三维形貌实时显示，操作直观且支持远程故障诊断。