工作原理

518-361-13采用电动驱动与气浮导轨结合的核心设计：电机驱动测头沿气浮导轨垂直移动，导轨表面通过压缩空气形成均匀气膜，消除机械摩擦，确保运动平稳无振动；高精度光栅尺实时反馈测头位置，分辨率达0.1μm，配合智能算法自动修正误差，实现纳米级测量精度。设备支持手动或自动模式，可适配不同测量场景需求。

应用范围

该测高仪适用于精密零部件的尺寸检测，如模具型芯、光学元件、半导体晶圆、齿轮齿形等；也可用于生产线在线质检、逆向工程数据采集及实验室科研分析，满足汽车制造、电子通信、医疗器械等行业对高精度测量的严苛要求。

产品技术参数

测量范围：0-600mm（可扩展至1000mm）

分辨率：0.1μm

最大允许误差：±(0.8+L/300)μm（L为测量长度，单位：mm）

测量速度：0-100mm/s（可调）

测头类型：红宝石球形测头（直径1mm/2mm可选）

数据接口：USB、RS-232，支持SPC统计分析软件

产品特点

超稳定气浮导轨：气膜均匀分布，运动阻力极低，长期使用精度不衰减。

电动驱动高效精准：无级调速控制，避免手动操作误差，提升重复测量一致性。

模块化设计：测头、导轨等部件可快速更换，适配不同测量任务。

智能软件支持：内置几何测量功能库，可自动生成报告并导出CAD数据。

人性化操作：彩色触摸屏界面，支持中英文切换，一键完成复杂测量流程。