精密粗糙度波纹度仪
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精密粗糙度波纹度仪
来源:上海高致精密仪器有限公司
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简介: Grows-RA1500是上海高致精密仪器推出的高精度表面形貌测量仪,专为工业制造领域表面质量检测设计。该设备集成激光干涉测量与纳米级位移传感技术,可同时测量表面粗糙度(Ra、Rz、Rq等参数)与波纹度(Wt、Wa、Wp等参数),测量范围覆盖0.001μm-16mm,重复性误差≤1%。其模块化设计、智能分析软件与多语言操作界面,广泛应用于汽车零部件、航空航天材料、半导体晶圆等行业的表面质量控制,助力企业实现精密加工与数字化管理。
产品详细

 Grows/高致精密


工作原理

Grows-RA1500基于激光三角法与高精度位移传感技术实现表面形貌测量:


激光投射与接收:半导体激光器发射波长650nm的线状激光,经柱面镜聚焦后形成窄光带投射至被测表面;表面微观起伏使反射光路发生偏转,CMOS传感器接收反射光斑并生成位置信号。

位移信号转换:传感器输出信号经高速ADC(采样率≥50kHz)转换为数字信号,微处理器通过几何光学算法计算光斑位移量(分辨率0.001μm),进而还原表面轮廓曲线。

参数计算与分析:内置ISO 4287、ISO 13565等国际标准算法库,自动提取粗糙度(如Ra算术平均偏差)、波纹度(如Wt总波纹度)等20余项参数;支持频谱分析(FFT变换)与三维形貌重建,辅助识别加工工艺缺陷(如振动纹、刀具磨损)。


应用范围


汽车制造:检测发动机缸体、曲轴、齿轮的表面粗糙度(Ra要求0.8-3.2μm),优化润滑性能与耐磨性;评估车身覆盖件电泳涂层前的波纹度(Wt≤5μm),防止涂层橘皮缺陷。

航空航天:测量涡轮叶片气膜孔出口粗糙度(Ra≤0.4μm),降低气流阻力;分析复合材料蜂窝结构表面波纹度(Wa≤2μm),确保结构强度与密封性。

半导体加工:筛查晶圆表面粗糙度(Rz≤10nm),控制化学机械抛光(CMP)工艺质量;检测光刻胶涂覆后的波纹度(Wp≤50nm),提升光刻分辨率。

精密模具:评估注塑模具型腔表面粗糙度(Ra≤0.2μm),减少产品脱模阻力;测量压铸模具分型面波纹度(Wt≤1μm),防止飞边缺陷。


技术参数


测量范围:粗糙度0.001μm-1.6mm,波纹度0.01μm-16mm

分辨率:0.001μm

重复性误差:≤1%(符合ISO 4288标准)

采样长度:0.08/0.25/0.8/2.5/8mm(可自定义)

数据接口:USB 3.0、RS-232、Wi-Fi(支持无线传输)


产品特点


超高精度与稳定性:采用德国进口激光器与纳米级位移传感器,长期漂移量≤0.005μm/24h;内置温度补偿模块(工作温度0-40℃),消除环境干扰对测量结果的影响。

智能化操作体验:7英寸电容触控屏支持多点触控(缩放、旋转三维形貌图),搭配一键式自动测量功能(3秒完成单点检测);软件内置多语言界面(中/英/德/日)与行业标准库,降低操作门槛。

模块化与扩展性:支持更换不同量程探头(标准/微型/大范围),适配平面、曲面、内孔等多种测量场景;可选配自动旋转测台(角度分辨率0.01°)与激光干涉仪校准模块,实现全自动化检测。

数据管理与分析:内置16GB存储空间,可保存10万组测量数据;支持Excel/PDF格式报告生成与SPC统计分析(Cp/Cpk计算),助力企业实现质量追溯与工艺优化。

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标签:精密粗糙度波纹度仪,物理检测设备
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