工作原理

FocusX采用双模式光学测量引擎，核心流程如下：

垂直扫描白光干涉（VSI）：通过压电陶瓷驱动物镜垂直移动，同步采集物体表面反射光与参考光的干涉条纹信号。系统分析条纹相位变化，计算每个像素点的绝对高度，生成高精度三维形貌图（垂直分辨率达0.1nm）。

共聚焦旋转扫描：环形光束经旋转针孔滤波后聚焦于样品表面，仅反射光中与针孔共轭的部分被探测器接收。通过旋转扫描消除层间串扰，提升透明材料（如玻璃、薄膜）的测量穿透力与边缘清晰度。

智能算法融合：内置AI驱动的数据处理模块，自动识别材料特性（如反射率、透明度），动态切换VSI与共聚焦模式，并补偿环境振动干扰，确保测量结果稳定性。

应用范围

精密制造：测量模具型腔、刀具刃口、齿轮齿面的微观形貌与粗糙度（Ra值），验证加工工艺一致性。

半导体行业：检测晶圆表面缺陷、芯片封装键合线高度、光刻胶涂层均匀性，支持28nm及以下制程质量控制。

光学元件：分析透镜曲率半径、镀膜厚度、表面波纹度，优化光学系统成像性能。

生物医学：无损测量细胞表面拓扑结构、组织工程支架孔隙率，辅助药物释放与细胞黏附研究。

材料科学：表征金属疲劳裂纹、陶瓷烧结体孔隙、复合材料界面结合强度，指导新材料研发。

技术参数

垂直分辨率：0.1nm（VSI模式）/ 10nm（共聚焦模式）

横向分辨率：0.35μm（物镜×100）

测量范围：0.1μm-10mm（垂直）× 100mm×100mm（水平，可选配电动平台扩展）

粗糙度参数：支持Ra、Rz、Rq等20+国际标准计算

扫描速度：单帧0.1秒（快速模式）/ 10秒（高精度模式）

光源类型：LED白光（VSI）+ 激光二极管（共聚焦，波长405nm/658nm可选）

软件功能：兼容ISO 25178、ASME B46.1等标准，支持3D形貌对比、GD&T几何公差分析

产品特点

双模智能自适应：单次扫描自动切换VSI与共聚焦模式，无需手动更换物镜或调整参数。

超低振动敏感度：主动减震台与闭环压电驱动系统，消除0.01μm级环境振动干扰。

透明材料穿透测量：共聚焦模式可穿透500μm厚透明层，直接获取下表面形貌数据。

一键式报告生成：内置行业模板库，支持导出PDF/3D PDF/Excel格式检测报告，含统计分析与趋势图表。

模块化扩展设计：可选配电动平台、自动载物台、多物镜转盘，适配自动化产线集成需求。

符合严苛标准：通过PTB（德国物理技术研究院）认证，满足汽车行业VDA 6.3与航空航天AS9100D规范。