工作原理
EDX600PLUS基于能量色散X射线荧光光谱(EDXRF)技术,其核心流程如下:
X射线激发:微型X光管发射高能X射线,穿透镀层表面并激发基体及镀层元素原子内层电子。
特征荧光产生:外层电子跃迁填补空位时释放特征X射线荧光,其能量与元素种类对应,强度与含量成正比。
信号检测:硅漂移探测器(SDD)捕获荧光信号,经多道分析器(MCA)转换为能谱图,分辨率达140eV@Mn Kα。
厚度计算:通过FP(基本参数法)或经验系数法校正基体效应,结合镀层密度参数自动计算厚度(μm)及元素质量分数(wt%)。
设备支持表面扫描与点测模式,检测深度可达镀层全厚度。
应用范围
电子制造:分析PCB板镀金(Au)、镀镍(Ni)、化学镍钯金(ENIG)层的厚度均匀性。
汽车工业:检测发动机零部件镀铬(Cr)、刹车盘镀锌(Zn)层的耐腐蚀性能。
五金装饰:测量卫浴龙头镀铜(Cu)、镀镍(Ni)及表面PVD镀钛(Ti)层的附着力。
半导体封装:监控引线框架镀银(Ag)、键合区镀金(Au)层的可焊性。
新能源领域:分析锂电池集流体镀铜(Cu)层的导电性及光伏焊带镀锡(Sn)层厚度。
技术参数
X光管:50kV/500μA微型光管,铑(Rh)靶材,寿命≥30,000小时
探测器:硅漂移探测器(SDD),分辨率≤140eV@5.9keV,计数率>500kcps
检测元素:Na(11)~U(92),覆盖镀层常用金属(Au/Ag/Cu/Ni/Zn/Cr等)
厚度量程:0.01μm-50μm(视材料密度),精度±3%(标准样品验证)
样品室:φ300mm×100mm大腔体,支持异形件及微小区域检测(最小光斑0.1mm)
分析时间:单点测量<15秒,地图扫描<2分钟(10mm×10mm区域)
产品特点
无损快速检测:无需制样或破坏样品,30秒内完成镀层厚度与成分同步分析。
高精度算法:内置FP-STD软件,可自动识别基体类型并校正吸收-增强效应,数据重复性RSD<2%。
智能校准功能:一键式标准样品校准,支持用户自定义镀层材料库与厚度-密度曲线。
多模式分析:提供点测、线扫描、面映射(厚度分布热力图)三种检测模式,满足不同场景需求。
安全防护设计:三层铅屏蔽结构+激光定位安全联锁,确保操作人员辐射剂量<0.3μSv/h。
数据管理便捷:内置10,000组存储容量,支持USB/WiFi数据导出与LIMS系统对接,生成符合ISO标准的检测报告。