工作原理
Axio MMZ-E基于无限远校正光学系统,其核心为高数值孔径(NA)物镜(覆盖5×-100×)与专业级金相照明模块。观察时,光源发出的光经聚光镜汇聚后,通过物镜投射至样品表面:明场模式下,光线垂直穿透样品,反射光形成明暗对比图像;DIC模式下,偏振光经样品厚度变化产生相位差,通过检偏器转换为高对比度浮雕效果。图像信号由科研级sCMOS相机(分辨率1200万像素)采集,经蔡司ZEN core软件实时处理,支持多帧降噪、三维重建及AI辅助分析(如自动晶界识别)。
应用范围
金属材料:分析钢铁晶粒度(ASTM E112标准)、铝合金第二相分布、钛合金β相转变温度。
半导体制造:检测硅片表面划痕、光刻胶涂层均匀性、芯片键合层空洞率。
复合材料:表征碳纤维/树脂界面结合强度、陶瓷基复合材料裂纹扩展路径。
涂层分析:测量电镀层、热喷涂层、化学转化膜厚度(精度±0.01μm)。
失效分析:定位金属疲劳裂纹源、腐蚀产物形貌、焊接接头夹杂物类型。
技术参数
物镜系统:EC Epiplan-Neofluar系列(NA 0.12-0.9),工作距离≥2.1mm
照明模块:LED冷光源(寿命50,000小时),光强连续可调(0.1%-100%)
载物台:电动六轴载物台(行程100×75mm,重复定位精度±0.1μm)
图像采集:支持4K分辨率视频录制(帧率30fps),色深16bit
软件功能:符合ISO 643标准的晶粒度评级、ASTM E1268夹杂物分类、GB/T 6394涂层孔隙率计算
产品特点
模块化扩展:可快速切换反射/透射光路,兼容拉曼光谱、EDS能谱等联用分析。
智能环境适应:内置温度补偿系统,消除实验室温度波动(±5℃)对成像质量的影响。
超低振动设计:花岗岩基座与气动隔振系统隔离外部振动(隔离频率≥5Hz)。
一键式操作:预设金属、半导体等材料的标准观察程序,新手5分钟即可完成专业检测。
远程协作:支持多用户同步访问显微镜图像,实现跨实验室数据共享与专家会诊。
合规性认证:符合ISO 17025校准规范,提供NMI可追溯的计量报告。