工作原理
MICURA采用龙门式结构,X/Y/Z三轴由高精度直线光栅尺(分辨率0.01μm)实时反馈位置信息,搭配蔡司VAST XXT主动式扫描测头,通过激光触发与应变片传感技术同步采集工件表面三维坐标数据。测头具备0.5μm的重复定位精度,可自动识别工件材质并调整触发力(0.01-1N可调),避免对软质材料(如塑料、橡胶)造成压痕。系统内置ZEISS CALYPSO测量软件,支持DMIS标准编程与离线仿真,通过多传感器融合算法(激光干涉仪+温度传感器)实时修正环境误差(温度波动±2℃时精度损失≤0.3μm),确保测量结果稳定性。
应用范围
精密机械:检测齿轮模数、轴承滚道圆度、液压阀体油路孔位置度及丝杠导程误差。
电子制造:验证手机中框CNC加工尺寸、PCB板过孔直径、连接器端子共面度及摄像头模组镜片间距。
医疗器械:测量人工关节球头直径、骨科植入物螺纹螺距、内窥镜导管弯曲半径及注射器针尖角度。
模具行业:分析塑料模具型芯型腔配合间隙、压铸模浇口尺寸及冲压模刃口磨损量。
增材制造:检测金属3D打印零件表面粗糙度、激光选区熔化层厚偏差及拓扑优化结构尺寸合规性。
技术参数
测量范围:X/Y/Z轴行程400×500×400mm,工作台承重30kg
精度指标:长度测量误差E0,MPE=(1.5+L/350)μm(L单位:mm),探测误差R&R≤0.5μm
测头系统:VAST XXT扫描测头,单点触发时间≤0.2ms,支持红宝石(Φ0.3-3mm)与碳化钨测针
温度补偿:工作温度范围18-22℃,自动补偿速率0.5μm/℃(集成PT1000温度传感器)
软件功能:支持GD&T形位公差标注、SPC过程能力分析及逆向工程点云处理
产品特点
超精密传动:空气轴承导轨摩擦系数≤0.001,运动加速度达0.5g,避免机械振动对测量影响。
智能防碰撞:测头配备力反馈传感器,接触力超限时自动回退并报警,保护工件与设备安全。
快速换型:模块化测头库支持10秒内自动更换不同规格测针,适配多品种小批量生产需求。
数据追溯:内置蔡司PiWeb质量数据管理系统,可生成符合ISO 9001标准的检测报告与趋势分析图表。
节能设计:待机功耗≤50W,气源消耗0.5bar(0.05MPa),符合欧盟ErP能效标准。
行业认证:通过PTB(德国物理技术研究院)型式批准与VDI/VDE 2617测量机校准规范认证。