工作原理

Primotech采用无限远校正光学系统（ICOS），通过物镜将光线聚焦至样品表面，反射光经管镜进入高分辨率摄像头（可选配5MP/10MP传感器），生成高对比度彩色图像。其搭载的LED环形照明与同轴照明可自由切换，适配不同材质表面（如金属反光面、塑料哑光面）的成像需求。METROTOM 1500则通过X射线断层扫描重建三维模型，Primotech的二维数据可与CT三维模型叠加，实现缺陷的精准定位与成因分析。

应用范围

Primotech：半导体晶圆表面划痕检测、PCB板金手指氧化层厚度测量、金属材料晶粒度分析、3D打印部件表面粗糙度评估。

METROTOM 1500：汽车发动机缸体内部裂纹定位、航空复合材料脱粘分析、医疗植入物孔隙率验证。

Primotech的快速成像（单帧≤0.2秒）支持生产线在线检测，METROTOM 1500则服务于研发阶段的深度失效分析。

技术参数

Primotech：

物镜：5x-100x（复消色差设计，覆盖0.7NA-0.9NA）

摄像头：5MP CMOS（可选10MP），帧率≥30fps

照明：6区位LED环形光+可调同轴光，亮度≥3000cd/m²

载物台：电动三轴（X/Y/Z行程100mm×100mm×50mm，重复定位精度≤0.1μm）

METROTOM 1500：

测量范围：直径700mm×高度750mm

精度：4.5+L/50μm（VDI/VDE 2630认证）

特殊功能：AMMAR伪影抑制、自动工件分离

产品特点

智能操作：ZEISS ZEN core软件支持一键自动对焦、图像拼接与缺陷标注，AI辅助分类识别表面缺陷（如裂纹、污渍）。

高清成像：复消色差物镜消除色差，5MP摄像头捕捉微米级细节（如1μm宽的电路板短路痕迹）。

模块化设计：可扩展拉曼光谱、共聚焦等附件，实现“光学成像-成分分析”一体化检测。

协同高效：Primotech的二维数据可直接导入METROTOM 1500软件，定位CT扫描区域，缩短检测周期30%以上。

安全耐用：全封闭光路设计防止灰尘侵入，LED光源寿命≥50,000小时，降低维护成本。

行业适配：符合ISO 17637、ASTM E112等标准，满足汽车、航空领域严苛质检需求。