工作原理

Sigma500采用热场发射电子枪（Schottky Field Emission Gun），通过加热钨灯丝发射高亮度电子束，经电磁透镜聚焦至纳米级探针。电子束扫描样品表面时，激发二次电子、背散射电子等信号，由探测器接收并转化为图像。Gemini光学系统通过双聚光镜设计实现电子束路径分离，消除像差，在1kV低电压下仍可保持0.8nm分辨率。METROTOM 1500则通过X射线断层扫描生成三维模型，与Sigma500的表面分析数据互补，构建工件全维度检测报告。

应用范围

Sigma500：半导体晶圆缺陷定位（如芯片键合线断裂）、锂电池电极材料微观结构表征、金属疲劳裂纹扩展分析、生物样本超薄切片观察。

METROTOM 1500：汽车零部件内部气孔检测、航空航天复合材料脱粘分析、医疗植入物孔隙率验证。

两款设备联合使用，可实现“表面形貌-成分分析-内部缺陷”的闭环研究，例如分析3D打印金属件的层间结合缺陷成因。

技术参数

Sigma500：

分辨率：0.8nm（15kV）/1.6nm（1kV）

加速电压：0.02-30kV

放大倍数：12x-2,000,000x

探测器：In-lens SE、AsB BSE、STEM三合一检测器

METROTOM 1500：

测量范围：直径700mm×高度750mm

精度：4.5+L/50μm（VDI/VDE 2630认证）

特殊功能：AMMAR伪影抑制、VHD虚拟水平探测器

产品特点

超高清成像：Sigma500在低电压下仍保持纳米级分辨率，避免高能电子束对敏感样品的损伤。

多模态分析：集成EDS（能谱仪）、EBSD（电子背散射衍射）等附件，支持元素分布与晶体取向分析。

智能操作：ZEISS SmartSEM触控界面简化参数设置，AI辅助自动聚焦与像差校正。

无损互补：METROTOM 1500提供内部结构数据，Sigma500揭示表面失效机理，形成完整失效分析链。

高效协同：软件无缝对接，CT数据可直接导入Sigma500定位缺陷区域，缩短研发周期。

行业认证：符合ISO 17025校准规范，满足汽车、航空等严苛质量标准要求。