工作原理
G6采用焦点变化(Focus Variation)与垂直聚焦技术,通过移动焦平面捕捉表面三维数据。光学传感器发射锥形束白光,结合Real3D全扫描技术,可对工件进行360°无死角成像,生成高分辨率三维模型。其垂直探测能力突破传统限制,可精准测量小孔、垂直侧面(>90°)及高反光表面,最小测量线粗糙度Ra达0.03μm,面粗糙度Sa达0.015μm。
应用范围
广泛应用于精密零部件的表面质量控制(如轴承、齿轮、刀具排屑槽)、半导体芯片封装检测、航空航天发动机叶片形貌分析,以及模具制造中的逆向工程。支持与CAD数据直接比对,适用于离线测量规划及全自动生产线集成,满足从研发到量产的全流程需求。
技术参数
测量范围:X/Y轴0.16-5.3mm,Z轴180mm(可选扩展至315mm)
分辨率:横向0.07μm,垂直10nm
物镜配置:8种物镜可选(如WD4物镜,工作距离4.5mm,测量范围0.16mm)
粗糙度精度:Ra≥0.03μm,Sa≥0.015μm
最大斜面角度:垂直聚焦技术支持>90°测量
数据采集:单幅测量点密度最高5亿,支持Real3D旋转台(360°旋转+90°倾斜)
产品特点
非接触式测量:避免划伤工件,适合光滑及高反光表面。
全自动化操作:集成SmartFlash技术,一键完成扫描、分析与报告生成。
高兼容性:支持CAD数据导入,实现虚拟测量与实际结果的无缝比对。
防振设计:车间环境稳定性强,可直接部署于生产线旁。
模块化扩展:可选配机械臂实现自动上下料,提升检测效率。
用户友好界面:MetMaX软件内置测量知识库,无需专业计量背景即可操作。