工作原理

NX-Hivac通过高真空环境（<10⁻⁴ Torr）消除氧气与杂质干扰，利用微悬臂针尖与样品表面的原子间相互作用力（范德华力、静电力等）进行成像。其核心True Non-Contact™模式通过高频振动（>400kHz）使针尖与样品保持非接触状态，结合闭环反馈系统实时调整悬臂位置，避免传统接触模式对软样品（如高分子薄膜、生物膜）的损伤。高真空环境将针尖磨损率降低90%，同时提升信噪比，实现亚埃级（<0.1nm）分辨率测量。

应用范围

覆盖半导体掺杂浓度分析（如碳化硅MOSFET的SRM扫描）、锂电池电极孔隙率表征、航空航天复合材料界面研究及生物大分子动态观测。在失效分析中，其高真空环境可精准检测集成电路互连层的电迁移缺陷；在新能源领域，支持固态电解质离子传导路径的三维重构；生物医学领域则可实现蛋白质-DNA相互作用力的实时测量。

产品技术参数

真空系统：涡轮泵+干式泵组合，5分钟内达10⁻⁴ Torr

扫描范围：XY轴100μm×100μm，Z轴15μm（可选30μm）

分辨率：平面<0.2nm，垂直<0.01nm

力检测灵敏度：<10pN

扫描模式：支持True Non-Contact™、轻敲模式、相位成像等8种模式

自动化功能：StepScan™多区域成像、FastApproach™快速进针、AdaptiveScan™自适应扫描

产品特点

高真空环境：消除氧化与污染，提升测量重复性，延长针尖寿命3倍以上。

智能操作系统：Hivac Manager一键真空控制，SmartScan™自动优化参数，新手5分钟可上手。

模块化扩展：兼容侧壁成像（倾斜样品台±20°）、液相环境检测及电学/磁学模块。

工业级可靠性：通过10万次循环测试，支持24小时连续运行，满足生产线质检需求。