工作原理
ATF4采用“激光三角测距+图像对比度分析”双模混合对焦系统。其核心为650nm红色激光发射器与高帧率CMOS传感器:激光器投射点状光斑至样品表面,反射光斑经光学棱镜折射至CMOS靶面,FPGA芯片通过光斑位移量计算离焦距离,驱动Z轴电机快速调整至近焦点位置(粗调阶段);随后切换至图像对比度模式,通过分析局部区域边缘锐度实现亚微米级精确定位(精调阶段)。该设计结合激光测距的抗干扰性与图像分析的精度优势,确保在低反射率(如碳材料)、高反射率(如金属镀层)及复杂纹理表面均能实现100%聚焦成功率。
应用范围
覆盖半导体封装缺陷检测、锂电池电极孔隙分析、金属材料晶界观察及生物样本超微结构表征等领域。在电子制造中,可无损检测PCB焊点虚焊、芯片键合层空洞;新能源领域支持电池隔膜孔隙率测量与极片剥离强度评估;生物医学方面,可对细胞膜、蛋白质复合体等软样品进行液相环境下的高分辨成像,避免接触式探针的机械损伤。
产品技术参数
聚焦精度:±0.5μm(重复定位精度)
响应时间:粗调阶段≤2ms,精调阶段≤5ms
激光波长:650nm(Class 1安全等级)
工作距离:兼容2X-100X无限远校正物镜,支持0-100mm动态调整
接口标准:支持USB 3.0/GigE Vision双协议,可与主流显微镜系统无缝集成
环境适应性:工作温度-10℃至50℃,湿度≤85%RH(无冷凝)
产品特点
全场景自适应:激光强度与CMOS曝光时间动态调节,可清晰成像从透明薄膜到高反光金属的多样化样品。
模块化扩展:预留数字I/O接口与SDK开发包,支持与机械臂、光源控制器等外围设备联动,构建自动化检测工作站。
工业级可靠性:通过10万次聚焦循环测试,IP54防护等级设计可抵御粉尘与液体泼溅,满足生产线24小时连续作业需求。
智能化软件:配套分析软件支持实时聚焦状态监控、历史数据追溯及AI辅助缺陷分类,显著提升检测效率与准确性。