工作原理

NX20 300mm通过微悬臂探针与样品表面的原子间作用力实现形貌表征。探针尖端与样品表面相互作用时，微悬臂发生形变，激光束反射至光电二极管阵列，将力学信号转化为电信号。设备采用闭环控制XY平板扫描器与导向强力Z扫描器，结合Park独创的True Non-Contact™模式，通过动态调节探针与样品间距，避免接触损伤，同时利用超低噪声Z探测器（噪声水平＜0.02nm）消除压电蠕变误差，实现原子级分辨率成像。

应用范围

覆盖300mm晶圆全区域缺陷检测、锂电池电极孔隙分析、金属材料晶界观察及生物大分子结构表征等领域。在半导体行业，可无损检测晶圆表面划痕、颗粒污染及键合层空洞；新能源领域支持电池隔膜孔隙率测量与极片剥离强度评估；生物医学方面，可对细胞膜、蛋白质复合体等软样品进行液相环境下的高分辨成像。

产品技术参数

扫描范围：XY轴100μm×100μm（可选50μm×50μm），Z轴15μm（可选30μm）

样品台：支持300mm×300mm全程机动化扫描，真空吸附固定各类晶圆

分辨率：横向≤1nm，纵向≤0.02nm（Z轴噪声水平）

光学系统：10×/20×超长工作距离物镜，500万像素CCD

操作模式：支持真正非接触模式、轻敲模式、接触模式等12种扫描模式

产品特点

大样品兼容性：300mm电动XY轴工作台实现全区域无位移检测，配合批处理模式可自动完成多站点测量。

超低噪声设计：创新性振动隔离技术将系统噪声控制在0.3Å RMS以下，确保超平样品检测精度。

智能化操作：SmartScan™系统支持脚本级外部程序控制，实时调整反馈参数，初学者30分钟内即可掌握基础操作。

多功能扩展：可选配EDS能谱仪、EBSD电子背散射衍射仪及STM扫描隧道显微镜模块，实现成分分析与晶体结构表征。