工作原理
SZX10采用伽利略光学系统,通过左右光路无差异的平行光束设计,结合高数值孔径(NA)物镜,实现平坦性优异的高分辨率影像观察。其内置孔径光阑与10:1变倍比(0.63×-6.3×)变焦系统,支持卡位定倍与连续变倍观察,无需更换镜头即可覆盖从宏观形貌到微观缺陷的检测需求。DFPL系列物镜通过复消色差校正,消除色差与畸变,确保图像色彩保真度与边缘平整度,同时平衡长工作距离(如0.5×物镜工作距离达171mm)与高分辨率(每毫米600对线)。
应用范围
设备覆盖金属材料检测、电子制造、半导体封装及生物样本分析等领域。在金属材料领域,可精准检测晶粒尺寸、夹杂物分布及热处理缺陷;电子制造中支持PCB焊点高度测量与激光加工形貌分析;半导体行业可实现晶圆表面台阶高度测量与封装缺陷定位。其兼容透明、反光及厚型样品,最大样品高度达210mm,满足大型部件直接观察需求。
产品技术参数
光学系统:伽利略平行光路,变倍比10:1
物镜:DFPL0.5×-4(WD171mm, NA0.05)、DFPL2×-4(WD33.5mm, NA0.2)等
观察筒:5°-45°可调倾斜角度,瞳间距调节范围51-76mm
照明系统:支持明场、暗场、斜射光及环形照明,LED光源寿命超20,000小时
成像功能:兼容DP系列数码相机,最大分辨率1730万像素,支持实时高速影像传输
产品特点
模块化设计:支持物镜转换器扩展,可搭载荧光、偏光等观察模块,满足多场景需求。
智能化操作:电动调焦驱动结合景深扩展技术(EFI),实现全焦点图像拼接与3D形貌重建。
人体工学优化:可调倾斜观察筒与ComfortView目镜降低长时间操作疲劳,提升检测效率。
高效照明系统:薄型LED透射照明底座厚度减半,降低视点高度,支持明/暗场切换,能耗降低50%。