工作原理

MX63/MX63L采用UIS2无限远校正光学系统，通过透镜组与环形LED照明器的协同工作，实现光路精准聚焦。其核心创新在于MIX观察技术，可同步结合暗场、明场、荧光或偏光等多种照明模式，通过定向暗场功能减少样品光晕，显著提升表面纹理可视化效果。例如，在检测半导体晶圆时，该技术可清晰呈现集成电路图形与光刻胶残留物，避免传统显微镜因眩光导致的漏检问题。

应用范围

覆盖半导体制造、平板显示、电子封装及精密机械加工等领域。典型场景包括：晶圆表面缺陷筛查、PCB板焊点虚焊检测、TFT阵列滤色片亮度分析，以及金属基板镀层厚度测量。设备支持透射光与反射光双模式切换，可应对透明样品（如液晶面板）与非透明材料（如金属零件）的复合检测需求。

产品技术参数

放大倍率：支持5X-100X红外物镜，覆盖可见光至近红外波段

载物台行程：最大356×305mm（MX63L），兼容200-300毫米晶圆

照明系统：高强度白光LED（色温稳定），寿命超7000小时

观察模式：明场、暗场、DIC、荧光、MIX（四象限定向暗场）

图像处理：支持HDR高动态范围合成与EFI景深扩展成像

产品特点

模块化设计：用户可根据检测需求选配电动物镜转换器、红外观察模块或晶圆搬送机，实现从基础检测到非破坏性封装分析的全流程覆盖。

人体工学优化：可调倾角观察筒（0°-42°）与内置离合载物台手柄，支持长时间舒适操作；防静电处理与全封闭电动组件设计，满足洁净室无污染检测标准。

智能化分析：集成奥林巴斯Stream图像分析软件，提供一键式全景拼接、交互测量及专业报告生成功能，检测效率较传统系统提升60%以上。