工作原理
DSX2000采用光学变焦技术,通过电动物镜转盘与电动变焦头实现26X-7300X的连续放大倍率切换,支持同一系统内宏观至微观的无缝检测。其核心创新在于远心光学系统与4K CMOS传感器的结合,可捕捉超过4K分辨率的显微图像,并通过像素位移技术将分辨率提升至8K,清晰呈现半导体晶圆、金属基板等材料的微观结构。设备搭载PRECiV图像分析软件,集成Live AI实时人工智能功能,可自动识别图像中的关键特征并消除干扰因素,大幅减少人工复核时间。
应用范围
覆盖半导体制造、电子元器件检测、金属材料分析及3D打印质量验证等领域。典型场景包括:芯片表面缺陷筛查、PCB板焊点高度测量、激光加工三维形貌评估,以及航空发动机涡轮叶片裂纹检测。设备支持7种观察模式一键切换,其中阴影浮雕模式可实时显示超细微缺陷,尤其适用于黑色镀层或反光材料的无损检测。
产品技术参数
放大倍率:26X-7300X(光学变焦)
分辨率:原生4K,扩展至8K
载物台:最大200×100mm,支持±90°旋转与90°倾斜
观察模式:明场、暗场、MIX、偏光、DIC、阴影浮雕等7种
拼接功能:支持无限制图像尺寸无缝拼接
校准标准:远心光学元件,由技术人员执行可追溯校准
产品特点
全电动智能操作:通过电动物镜转盘与变焦头实现物镜自动更换,配合EZ模式自定义工作流程,新手用户经短期培训即可独立完成检测。
高精度成像与分析:8K分辨率结合Live AI功能,可精准识别芯片黑色圆头缺陷,测量精度达微米级,满足半导体行业严苛标准。
高效数据处理:支持一键生成全聚焦3D图像,并可对样品高度、粗糙度进行3D测量,无缝拼接功能使大型样品分析时间缩短60%。