产品工作原理

SSR300+采用非接触式光学干涉法与激光位移传感技术，通过白光干涉扫描生成样品表面三维形貌。其核心原理为：利用光程差相等时产生的干涉条纹，通过马达驱动改变镜头与样品间距，带动干涉条纹移动并扫描样品表面，最终生成高分辨率的二维、三维形貌数据。设备同时支持激光共聚焦技术，通过405nm紫色半导体激光实现纳米级表面细节捕捉，结合微分干涉显微镜（DIC）功能，可清晰呈现透明样品或微小凹凸结构的表面特征。

应用范围

覆盖航空航天、汽车零部件、半导体、医疗器械及精密模具等领域。可检测金属/非金属材料的表面粗糙度、波纹度、台阶高度及薄膜厚度，适用于轴承滚子、齿轮、人工关节、手机外壳等复杂曲面的形貌分析，同时支持电池表面纹理、光学薄膜镀层等微观结构的量化评估。

产品技术参数

测量范围：横向10μm×10μm至150mm×150mm，垂直量程500μm（支持50mm高度样品）

分辨率：垂直方向0.05nm（白光干涉模式），横向0.1μm

扫描速度：高速模式200μm/s，支持实时拼接大范围测量

测量功能：符合ISO 4287/25178标准，提供Sa、Sq等300余种二维/三维参数评价

环境适应性：工作温度18-29℃，振动幅度<1μm（需配备主动隔振平台）

产品特点

多技术融合：集成白光共聚焦、激光共聚焦、微分干涉显微镜等6项功能，一台设备替代多台传统仪器。

高精度与稳定性：采用花岗岩三轴导轨、空气轴承及高精度光栅尺，结合计算机辅助3D误差修正技术，确保长期测量稳定性。

智能化操作：内置LM eye分析软件，支持自动缺陷检测、深度学习分类及一键生成符合国际标准的检测报告。

非接触无损检测：避免接触式测量对样品的划伤，尤其适用于抛光镜面、透明涂层等敏感表面。